超精加工：
利用裝在振動頭上的細粒度油石對精加工表面進行的精整加工（見切削加工）。超精加工一般安排在精磨工序后進行，其加工余量僅幾微米，適于加工曲軸、軋輥、軸承環和各種精密零件的外圓、內圓、平面、溝道表面和球面等。
超精密加工就是在超精密機床設備上，利用零件與刀具之間產生的具有嚴格的約束的相對運動，對材料進行微量切削，以獲得極高形狀精度和表面光潔度的加工過程。其精度從微米到亞微米，乃至納米，其應用范圍日趨 廣泛，在高技術領域和軍用工業以及民用工業中都有廣泛應用，尤其是電氣自動化領域，如超大規模集成電路，高精度磁盤，精密雷達，導彈火控系統，精密機床，精密儀器，錄像機磁頭，復印機磁鼓，煤氣灶轉閥等都要采用超精密加工技術。它與當代一些主要科學技術的發展有密切的聯系，是當代科學發展的一個重要環節；而且超精密加工技術的發展也促進了機械，液壓，電子，半導體，光學，傳感器和測量技術以及材料科學的發展。
